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如何區(qū)分光刻掩膜版正反面?
【2021-09-08】

  光刻掩膜版的正反面區(qū)分其實很簡單,最簡單的方法就是拿到光學顯微鏡下觀察,有圖形的一面則為正面,反之沒有圖形的一面為反面,刻蝕的時候光刻版正面朝上。

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