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光刻掩膜版制作流程

2021-07-24

光刻掩膜版制作流程步驟如下：　　步驟1、提供掩膜基板，在掩膜基板基板上涂覆一層光刻膠；　　步驟2、對所述光刻膠進行曝光、顯影，形成光刻膠圖...

光刻工藝對掩膜版的質(zhì)量要求

2021-07-24

用以制作掩模版的掩膜基板必須內(nèi)部和兩表面都無缺陷。必須于光刻膠的曝光波長下有高的光學透射率。用來制作掩模版的常見材質(zhì)有石英玻璃，蘇打玻璃等...

光掩膜基版是光刻中的哪一步？

2021-07-24

光掩膜基版工序是微電子制造過程中的圖形轉(zhuǎn)移工具或母版，用來承載圖形設(shè)計和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息的重要載體。在微納(MEMS)加工過程中，光掩模版...

光刻掩膜版是屬于什么材料

2021-07-24

掩模版制作的材質(zhì)常見有石英玻璃，蘇打玻璃等。石英玻璃：熱膨脹系數(shù)非常小，在深UV和近深UV區(qū)域都有很高的穿透系數(shù)，但是石英玻璃的價格也較為昂貴...

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